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位移傳感器作為工業(yè)自動(dòng)化與精密制造的核心組件，其非接觸式高分辨率近距離測量技術(shù)正推動(dòng)制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?；陔娙荨⒓す?、電磁等原理的非接觸式傳感器，通過消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾，實(shí)現(xiàn)了亞微米級位移測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航...
鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設(shè)計(jì)相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。鍵合機(jī)的結(jié)構(gòu)說明：1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，爐壁溫度不超過60℃，內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上...
隨著納米技術(shù)的進(jìn)步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學(xué)測試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進(jìn)了傳統(tǒng)硬度測試的不足，通過J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測試。納米壓痕-單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和vonMises應(yīng)力，接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進(jìn)和用戶自定義可編程加載方式，評價(jià)薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...
白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。原理：它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得...
隔振臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界先進(jìn)的主動(dòng)隔振性能。本產(chǎn)品通過消除影響測量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無需為大多數(shù)儀器安裝所需的升降設(shè)備，從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM，干擾儀防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！工作原理：安裝有測量和制...
近年來，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，白光干涉儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微納材料及制造、航空航天等，下面我們就來具體的了解一下這款儀器！白光干涉儀能夠在同一測試平臺(tái)上運(yùn)行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成...