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  • Orzew FC20/FC20X全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)

    Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái),Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器,搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái),兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手,滿足亞微米級(jí)的形 貌測(cè)量需求,可選裝配電阻率測(cè)試模塊,滿足更多樣化的量測(cè)需求,適應(yīng)更多的晶圓制程。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):Orzew FC20/FC20X
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:5176
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