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  • QuickPRO-3D--表面輪廓儀

    適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實惠的表面輪廓儀,納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器),為在線過程測量和控制而設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作,可配制成獨立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z),多種樣品處理能力

    更新時間:2024-11-09
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1726
  • QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀

    QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動控制平臺相結(jié)合,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。

    更新時間:2024-11-09
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1155
  • PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機(jī)

    晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運(yùn)動模組及晶圓機(jī)械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。

    更新時間:2024-11-09
    型號:PLS-F1000
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:3859
  • Profilm 3DFilmetrics 3D光學(xué)輪廓儀

    Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。

    更新時間:2024-11-26
    型號:Profilm 3D
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:6702
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