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簡要描述：適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器），為在線過程測量和控制而設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時間：2024-11-09訪 問 量： 2012產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
•適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀
•納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器）
•為在線過程測量和控制而設(shè)計
•結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作
•可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z）
•多種樣品處理能力
–單一數(shù)控加工的非球面透鏡（ ?可達(dá)100mm）
–托盤中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學(xué)器件（無旋轉(zhuǎn)對稱） 半導(dǎo)體，MEMs，LED，OLED，光子晶圓
特點(diǎn)：
•可在納米分辨率下測量大的臺階高度（>1mm）
•適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀
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