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在材料科學(xué)與電子設(shè)備制造領(lǐng)域，薄膜技術(shù)的突破正推動(dòng)著產(chǎn)品性能的迭代升級(jí)。從柔性顯示屏的透明導(dǎo)電層到半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)柵極氧化層，膜厚控制精度直接決定了材料的電學(xué)、光學(xué)及機(jī)械性能。膜厚測(cè)量?jī)x作為關(guān)鍵質(zhì)量檢測(cè)工具，憑借其非接觸、高精度、快速分析...
HerzTS主動(dòng)隔振臺(tái)介紹：在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù)，基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù)，原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn))，振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無法隔離低頻振動(dòng)，此時(shí)需要主動(dòng)隔離。主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動(dòng)隔振臺(tái)特點(diǎn)：1、在全部的6個(gè)自由度范圍...