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非接觸式高精度位移測(cè)量,位移傳感器的技術(shù)突破與應(yīng)用實(shí)踐
2025-05-09

位移傳感器作為工業(yè)自動(dòng)化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測(cè)量技術(shù)正推動(dòng)制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?;陔娙荨⒓す?、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過(guò)消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾,實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)位移測(cè)量,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航...

  • 2022-08-19

    近年來(lái),隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,多波段橢偏儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn),受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中,下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器!它的光譜范圍:最初,多波段橢偏儀的工作波長(zhǎng)多為單一波長(zhǎng)或少數(shù)獨(dú)立的波長(zhǎng),較典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比,多波段橢偏儀可以提升多層探測(cè)能力,可以測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折...

  • 2022-08-13

    ThetaMetrisis膜厚儀應(yīng)用說(shuō)明#050應(yīng)用微間距覆晶解決方案應(yīng)用銅柱凸塊新封裝技術(shù)系列激光加工/切割冷卻液水溶性保護(hù)膜(HogoMax)厚度測(cè)量應(yīng)用。1、介紹:隨著芯片制程逐漸微縮到28奈米,凸塊尺寸同樣減小,銅柱凸塊成為繼銅打線封裝制程后新的封裝技術(shù)變革.與錫鉛凸塊比較,銅柱凸塊具有較佳的效能及較低的整體封裝成本。銅柱凸塊應(yīng)用于覆晶封裝上連結(jié)芯片和與載板的技術(shù)適合用于高階芯片封裝,例如應(yīng)用處理器、微處理器、基頻芯片、繪圖芯片等。用於半導(dǎo)體激光加工/切割工藝的高純度...

  • 2022-08-01

    激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)...

  • 2022-07-27

    位移傳感器又稱為線性傳感器,是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,傳感器的作用是把各種被測(cè)物理量轉(zhuǎn)換為電量。在生產(chǎn)過(guò)程中,位移的測(cè)量一般分為測(cè)量實(shí)物尺寸和機(jī)械位移兩種。按被測(cè)變量變換的形式不同,位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型和結(jié)構(gòu)型兩種。常用位移傳感器以模擬式結(jié)構(gòu)型居多,包括電位器式、電感式、自整角機(jī)、電容式位移傳感器、電渦流式、霍爾式等。位移傳感器主要用于設(shè)備位移測(cè)量與位置定位,質(zhì)量的優(yōu)劣直接決定了機(jī)械設(shè)備測(cè)量精度與控制效果的好壞。安裝好位移傳感器后,出現(xiàn)...

  • 2022-07-19

    光學(xué)輪廓儀是一種雙LED光源的非接觸式光學(xué)儀器,對(duì)樣品基本上沒(méi)有損害。視樣品選擇不同測(cè)量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于測(cè)量光滑表面粗糙度;垂直掃描干涉模式(VSI)則可以做高度、寬度、曲率半徑,粗糙度的計(jì)測(cè)等。光學(xué)輪廓儀工作原理:光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。3D形貌地圖配合色譜圖,非常直...

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