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在材料科學(xué)、微電子制造以及精密機(jī)械加工等多個領(lǐng)域，對表面微結(jié)構(gòu)的研究和分析至關(guān)重要。其中，凹坑的平均深度是一個關(guān)鍵參數(shù)，對于評估材料性能、產(chǎn)品質(zhì)量等具有重要意義。而三維形貌儀作為一種先進(jìn)的測量分析儀器，在計(jì)算凹坑平均深度方面發(fā)揮著不可替代的...
３結(jié)果與討論３.１顯影時(shí)間影響經(jīng)過無掩模光刻機(jī)曝光后，目標(biāo)圖案已轉(zhuǎn)移至ＩＴＯ玻璃上。將ＩＴＯ玻璃放置于加熱板上進(jìn)行加熱，烘除光刻膠中的殘留溶劑、水分，使光刻膠與ＩＴＯ玻璃結(jié)合更加緊密，此時(shí)，經(jīng)過曝光的光刻膠與未曝光的光刻膠在顯影液中會存在明顯的溶解速度差。將自然冷卻后的ＩＴＯ玻璃浸沒于ＳＵ－８光刻膠專用顯影液中，由于本實(shí)驗(yàn)中采用的光刻膠為負(fù)膠，因此顯影目的是為了除去曝光區(qū)域以外的光刻膠。該方法的核心問題是控制顯影時(shí)間。圖２為經(jīng)過不同顯影時(shí)間后，在Ｔｉ－Ｅ顯微鏡下觀察到的光刻膠...
厚度電阻率測試是一種用于測量材料電阻率的方法，它可以幫助工程師評估材料的質(zhì)量和可靠性。該測試通常通過將兩個探頭放在材料的表面上，然后測量它們之間的電阻來完成。厚度電阻率測試有以下幾個特點(diǎn)：1.非破壞性：與其他測試方法不同，它是一種非破壞性的測試方法。這意味著對于需要保留完整性、外觀或功能的材料，您可以快速檢查其電阻率而無需損壞樣品。因此，它是一種非常有用的測試方法，尤其適用于生產(chǎn)線上的大批量材料測試。2.精確性高：該測試可以提供非常準(zhǔn)確的結(jié)果。通過使用精密加工的探頭以及計(jì)算機(jī)...
１引言ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）又稱氧化銦錫，是一種銦錫金屬氧化物，因其具有光學(xué)透明性［１］、高導(dǎo)電性［２］、易加工性［３］及柔性潛力［４］等優(yōu)點(diǎn)，目前在光電檢測、生物芯片及微納器件等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，例如加工成熱光伏系統(tǒng)濾波器［５］、紅外輻射反射鏡涂層［６］、表面等離子體共振材料［７］等。在實(shí)際應(yīng)用中，ＩＴＯ通常需先加工成各種形狀的電極，但由于曝光精度低、刻蝕工藝參數(shù)難以控制等原因，ＩＴＯ電極特征尺寸無法進(jìn)一步降低。目前將ＩＴＯ加工成電極的方法多種多樣，主要分...
主動減震臺是一種地震工程中常用的結(jié)構(gòu)控制技術(shù)，其主要作用是通過主動地對建筑物進(jìn)行控制，以減小地震對建筑物的破壞，并保護(hù)人們的生命財(cái)產(chǎn)安全。該技術(shù)使用一系列的傳感器、計(jì)算機(jī)、執(zhí)行器等設(shè)備來實(shí)現(xiàn)對建筑物結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)監(jiān)測和調(diào)節(jié)，從而有效降低地震對建筑物的影響。主動減震臺的特點(diǎn)主要包括以下幾個方面：1.高效的減震能力：主動減震臺采用多種減震技術(shù)，如電液伺服閥、壓電陶瓷等，可以實(shí)現(xiàn)高效的減震效果。與傳統(tǒng)的被動減震技術(shù)相比，它可以更加精確地控制建筑物的振動，進(jìn)而達(dá)到更好的減震效果。2.靈活...
可以的。隨著半導(dǎo)體材料技術(shù)的發(fā)展，對硅片的規(guī)格和質(zhì)量也提出更高的要求，適合微細(xì)加工的大直徑硅片在市場的需求比例將日益加大。半導(dǎo)體,芯片,集成電路,設(shè)計(jì),版圖,芯片,制造,工藝目前世界普遍采用先進(jìn)的切、磨、拋和潔凈封裝工藝，使制片技術(shù)取得明顯進(jìn)展。新技術(shù)的導(dǎo)入，使SOI等高功能晶片的試制開發(fā)也進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。對此，硅片生產(chǎn)廠家也增加了對300mm硅片的設(shè)備投資，針對設(shè)計(jì)規(guī)則的進(jìn)一步微細(xì)化。利用超聲波清洗技術(shù)，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動，帶動清洗液形成細(xì)微回流...