該客戶是中國碳化硅（SiC）功率器件產(chǎn)業(yè)化的chang導(dǎo)者之一，于2021年安裝了第一臺ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic，因機(jī)臺使用狀況良好，客戶今年追加購買了第2臺和第3臺設(shè)備（包括可見光和紫外光范圍）。
FR-Scanner-AIO-Mic膜厚測量儀采用的是波長范圍在370-1020nm的可見光干涉測量，能夠測量12nm-90um范圍的膜層厚度（5X鏡頭），準(zhǔn)確度高達(dá)0.2%或2nm，精度為0.02nm，是一款性價(jià)比很高的膜厚測量設(shè)備。FR-Scanner的紫外光配置，波長范圍低至200nm, 能應(yīng)用于4nm-60um范圍的膜層厚度（5X鏡頭），準(zhǔn)確度高達(dá)0.1%或1nm。市場上大多數(shù)膜厚測量儀在增加了顯微鏡配置后，設(shè)備的膜厚測量范圍出現(xiàn)大幅度縮減，但ThetaMetrisis產(chǎn)品不會出現(xiàn)這種情況，其膜厚測量范圍仍然寬廣。值得一提的是，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)Mapping測量功能是FR-Scanner系列的標(biāo)配。