簡要描述：LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
產品型號：LODAS™ – AI50/100廠商性質：代理商產品資料：更新時間：2025-09-04訪 問 量： 2802產品分類
Product Category詳細介紹
列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實"的經(jīng)營理念，為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術，專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征：
半導體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價
用微分干涉顯微鏡分析缺陷
檢查對象：Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi
檢查項目：顆粒、內部缺陷（Option）
檢查靈敏度：PDM缺陷尺寸0.1μm（AI00）
定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時電話對應，全年無休的安心支持。
認真對待客戶新的要求。
召開技術研討會和充實各種手冊，讓顧客能夠自行維護和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務。
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