久久人午夜亚洲精品无码区,无码人妻视频一区二区三区 ,末成年女a片一区二区,少妇无码AV无码专区在线观看

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  膜厚儀  >  Thetametrisis膜厚儀  >  FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自動化高速薄膜厚度測量儀

自動化高速薄膜厚度測量儀

簡要描述:顯示器薄膜測量儀*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計、復(fù)合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

  • 產(chǎn)品型號:FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1984

詳細(xì)介紹

1、FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150介紹

模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了光學(xué)、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。晶圓放置在真空吸盤上,該真空吸盤支持尺寸/直徑達(dá) 300 毫米的各種晶圓,執(zhí)行測量光斑尺寸小至幾微米的強大光學(xué)模塊。具超高精度和可重復(fù)性的電動RΘ 載物臺,在速度、精度和可重復(fù)性方面具有出色的性能。


FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150提供:o 實時光譜反射率測量 o 薄膜厚度、光學(xué)特性、不均勻性測量、厚度測繪o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機進(jìn)行成像o 測量參數(shù)的統(tǒng)計數(shù)據(jù) * 還提供用于測量更大直徑晶圓上涂層的工具(最大 450 毫米)


2、特征


o 單擊分析無需初始猜測

o 動態(tài)測量

o 光學(xué)參數(shù)(n & k、色座標(biāo))

o Click2Move 和圖案測量位置對齊功能

o 多個離線分析安裝

o 免費軟件更新


3、規(guī)格

Model

UV/VIS

UV/NIR -EX

UV/NIR-HR

D UV/NIR

VIS/NIR

D VIS/NIR

NIR

NIR-N2

Spectral Range (nm)

200 – 850

200 –1020

200-1100

200 – 1700

370 –1020

370 – 1700

900 – 1700

900 - 1050

Spectrometer Pixels

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

3648

Thickness range (SiO2) *1

5X- VIS/NIR

4nm – 60μm

4nm – 70μm

4nm – 100μm

4nm – 150μm

15nm – 90μm

15nm–150μm

100nm-150μm

4um – 1mm

10X-VIS/NIR

10X-UV/NIR*

4nm – 50μm

4nm – 60μm

4nm – 80μm

4nm – 130μm

15nm – 80μm

15nm–130μm

100nm–130μm

15X- UV/NIR *

4nm – 40μm

4nm – 50μm

4nm – 50μm

4nm – 120μm

100nm-100μm

20X- VIS/NIR

20X- UV/NIR *

4nm – 25μm

4nm – 30μm

4nm – 30μm

4nm – 50μm

15nm – 30μm

15nm – 50μm

100nm – 50μm

40X- UV/NIR *

4nm – 4μm

4nm – 4μm

4nm – 5μm

4nm – 6μm

50X- VIS/NIR

15nm – 5μm

15nm – 5μm

100nm – 5μm

Min. Thickness for n & k

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

Thickness Accuracy **2

0.1% or 1nm

0.2% or 2nm

3nm or 0.3%


Thickness Precision **3/4

0.02nm

0.02nm

<1nm

5nm

Thickness stability **5

0.05nm

0.05nm

<1nm

5nm

Light Source

Deuterium & Halogen

Halogen (internal), 3000h   (MTBF)

R/Angle resolution

5μm/0.1o

Material Database

> 700 different   materials

Wafer size

2in-3in-4in-6in-8in-300mm

Scanning   Speed

100meas/min   (8’’ wafer size)

Tool   footprint / Weight

650x500mm   / 45Kg

Power

110V/230V, 50-60Hz, 350W





測量區(qū)域光斑(收集反射信號的區(qū)域)與物鏡和孔徑大小有關(guān)

物鏡

Spot Size (光斑)

放大倍率

500微米孔徑

250微米孔徑

100微米孔徑

5x

100 μm

50 μm

20 μm

10x

50 μm

25 μm

10 μm

20x

25 μm

15 μm

5 μm

50x

10 μm

5 μm

2 μm





4、工作原理

Principle of Operation 測量原理White Light Reflectance Spectroscopy (WLRS) 白光反射光譜是測量從單層薄膜或多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)的一個波長范圍內(nèi)的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或wan'quan反射基板上)薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(N&K)等。



圖片4.png


*1規(guī)格如有變更,恕不另行通知,*2與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結(jié)果匹配,*3超過15天平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差平均值,樣品:硅晶片上1微米SiO2,*4標(biāo)準(zhǔn)偏差100次厚度測量結(jié)果,樣品:硅晶片上1微米SiO2, *5 15天內(nèi)每日平均值的2*標(biāo)準(zhǔn)差。樣品:硅片上1微米SiO2。




產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
莫妮卡欧美R级无删版影片| 亚洲a∨无码一区二区三区| 成人性生交大片免费看| 亚洲精品久久久久无码精品| 欲求不満の人妻松下纱荣子| 亚洲国产成人片在线观看无码| 亚欧色一区w666天堂| 无码乱码av天堂一区二区| 人性情感短片视频高清| 国产99久久久国产精品潘金莲| 最近2019中文字幕第二页| 最好免费高清视频在线观看| 亚洲av乱码一区二区三区香蕉 | 成全视频在线观看免费看| 性国产SE╳O色欲A片欢迎观看| 美女视频黄8频全软件| 国产精品国产三级国产a| 色偷偷色噜噜狠狠成人免费视频| 国产日产欧产美韩系列麻豆| 日本少妇被黑人猛cao| 国产美女视频国产视视频| 欧美老熟妇乱大交xxxxx| 臭小子我是你岳...你不能视频| 国产亚洲精品无码成人| 被夫の上司持久侵犯日本| 精品麻豆国产色欲色欲色欲WWW| 少妇被又大又粗又爽毛片欧美 | 国产乱码精品一区二区三区四川人| 日本精品少妇一区二区三区| 精品人妻无码一区二区三区手机版 | ass白嫩白嫩的少妇pics| 丰满人妻在公车被猛烈进入电影 | 无码国产一区二区三区四区| 99久久人妻无码精品系列| 精品国产18久久久久久| 丰满少妇人妻久久久久久| 欧美猛男军警gay自慰| 亚洲av无码色情第一综合网| 亚洲 欧美 偷自乱 图片| 欧美人与动交zozo| 99久久国产露脸国语对白|