久久人午夜亚洲精品无码区,无码人妻视频一区二区三区 ,末成年女a片一区二区,少妇无码AV无码专区在线观看

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  膜厚儀  >  Thetametrisis膜厚儀  >  FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自動化高速薄膜厚度測量儀

自動化高速薄膜厚度測量儀

簡要描述:顯示器薄膜測量儀*的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

  • 產(chǎn)品型號:FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150
  • 廠商性質:代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1982

詳細介紹

1、FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150介紹

模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了光學、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。晶圓放置在真空吸盤上,該真空吸盤支持尺寸/直徑達 300 毫米的各種晶圓,執(zhí)行測量光斑尺寸小至幾微米的強大光學模塊。具超高精度和可重復性的電動RΘ 載物臺,在速度、精度和可重復性方面具有出色的性能。


FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150提供:o 實時光譜反射率測量 o 薄膜厚度、光學特性、不均勻性測量、厚度測繪o 使用集成的、USB 連接的高質量彩色相機進行成像o 測量參數(shù)的統(tǒng)計數(shù)據(jù) * 還提供用于測量更大直徑晶圓上涂層的工具(最大 450 毫米)


2、特征


o 單擊分析無需初始猜測

o 動態(tài)測量

o 光學參數(shù)(n & k、色座標)

o Click2Move 和圖案測量位置對齊功能

o 多個離線分析安裝

o 免費軟件更新


3、規(guī)格

Model

UV/VIS

UV/NIR -EX

UV/NIR-HR

D UV/NIR

VIS/NIR

D VIS/NIR

NIR

NIR-N2

Spectral Range (nm)

200 – 850

200 –1020

200-1100

200 – 1700

370 –1020

370 – 1700

900 – 1700

900 - 1050

Spectrometer Pixels

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

3648

Thickness range (SiO2) *1

5X- VIS/NIR

4nm – 60μm

4nm – 70μm

4nm – 100μm

4nm – 150μm

15nm – 90μm

15nm–150μm

100nm-150μm

4um – 1mm

10X-VIS/NIR

10X-UV/NIR*

4nm – 50μm

4nm – 60μm

4nm – 80μm

4nm – 130μm

15nm – 80μm

15nm–130μm

100nm–130μm

15X- UV/NIR *

4nm – 40μm

4nm – 50μm

4nm – 50μm

4nm – 120μm

100nm-100μm

20X- VIS/NIR

20X- UV/NIR *

4nm – 25μm

4nm – 30μm

4nm – 30μm

4nm – 50μm

15nm – 30μm

15nm – 50μm

100nm – 50μm

40X- UV/NIR *

4nm – 4μm

4nm – 4μm

4nm – 5μm

4nm – 6μm

50X- VIS/NIR

15nm – 5μm

15nm – 5μm

100nm – 5μm

Min. Thickness for n & k

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

Thickness Accuracy **2

0.1% or 1nm

0.2% or 2nm

3nm or 0.3%


Thickness Precision **3/4

0.02nm

0.02nm

<1nm

5nm

Thickness stability **5

0.05nm

0.05nm

<1nm

5nm

Light Source

Deuterium & Halogen

Halogen (internal), 3000h   (MTBF)

R/Angle resolution

5μm/0.1o

Material Database

> 700 different   materials

Wafer size

2in-3in-4in-6in-8in-300mm

Scanning   Speed

100meas/min   (8’’ wafer size)

Tool   footprint / Weight

650x500mm   / 45Kg

Power

110V/230V, 50-60Hz, 350W





測量區(qū)域光斑(收集反射信號的區(qū)域)與物鏡和孔徑大小有關

物鏡

Spot Size (光斑)

放大倍率

500微米孔徑

250微米孔徑

100微米孔徑

5x

100 μm

50 μm

20 μm

10x

50 μm

25 μm

10 μm

20x

25 μm

15 μm

5 μm

50x

10 μm

5 μm

2 μm





4、工作原理

Principle of Operation 測量原理White Light Reflectance Spectroscopy (WLRS) 白光反射光譜是測量從單層薄膜或多層薄膜堆疊結構的一個波長范圍內的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或wan'quan反射基板上)薄膜的厚度、光學常數(shù)(N&K)等。



圖片4.png


*1規(guī)格如有變更,恕不另行通知,*2與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結果匹配,*3超過15天平均值的標準偏差平均值,樣品:硅晶片上1微米SiO2,*4標準偏差100次厚度測量結果,樣品:硅晶片上1微米SiO2, *5 15天內每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米SiO2。




產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
亚洲精品中文字幕无码蜜桃| 人妻换人妻互换a片爽电影| 锦衣之下免费观看电视剧完整版| 死神来了5在线观看| 亚洲av无码av吞精久久| 国内精品一区二区三区 | 国产成a人亚洲精v品无码樱花 | 人妻熟妇乱又伦精品视频| 免费网站看av片| 夜夜爽妓女8888888视频| 丝袜足控一区二区三区| 少妇无套内谢久久久久| 少妇a片出轨人妻偷人视频| 日本三线免费视频观看| 精品久久久久久中文字幕| 中文字幕人成人乱码亚洲影| 国产99视频精品免费视频76| 蜜臀AV精品一区二区三区| www夜插内射视频网站| 国产 一二三四五六| 精品久久久久国产免费| 轻点好疼好大好爽视频| 播放灌醉水嫩大学生国内精品| 精品成人a人无码亚洲成a无码| 国产精品久久人妻无码网站仙踪林| 毛片免费视频在线观看| 偿还HD韩国中文版| jiapanese50欧美熟妇| 精品久久久久中文字幕一区| 肉乳床欢无码A片动漫AV| 在线看免费观看日本av| 日韩亚洲AV人人夜夜澡人人爽 | 亚洲综合AV一区二区三区| 国产精品人妻无码久久久| 日本无码欧美激情视频二区| 久久精品国产99国产精品导航| 少妇把腿扒开让我添69式| 精品一二三区久久aaa片| 国产成人影院一区二区三区| 亚洲精品成人片在线观看| 精品久久久噜噜噜久久久|