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EVG 510-晶圓鍵合機具有哪些特點呢?

更新時間:2024-04-08  |  點擊率:2092
  晶圓鍵合機是實現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關(guān)鍵工藝設(shè)備,尤其是先進(jìn)的MEMS、MOEMS制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。其鍵合工藝主要包括陽極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設(shè)備主要應(yīng)用于微機電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測試試驗中的封裝測試過程,為各種微機電器件提供不同類型的鍵合封裝,為檢驗不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術(shù)支持。
 
  EVG 510-晶圓鍵合機是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。
 

 
  EVG 510-晶圓鍵合機具有哪些特點呢? 
  1、良好的壓力和溫度均勻性;
  2、兼容EVG機械和光學(xué)對準(zhǔn)器;
  3、靈活的設(shè)計和配置,用于研究和試生產(chǎn);
  4、將單芯片形成晶圓;
  5、各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合);
  6、可選的渦輪泵(<1E-5 mbar);
  7、可升級用于陽極鍵合;
  8、開室設(shè)計,易于轉(zhuǎn)換和維護;
  9、生產(chǎn)兼容;
  10、高通量,具有快速加熱和泵送規(guī)格;
  11、通過自動楔形補償實現(xiàn)高產(chǎn)量;
  12、開室設(shè)計,可快速轉(zhuǎn)換和維護;
  13、200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積:0.8m²;
  14、程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)*兼容。
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